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        無油式真空泵

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        無油式真空泵的結構特點及安裝維護注意點

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        無油式真空泵的結構特點及安裝維護注意點

        發布日期:2021-08-13 00:00 來源:http://www.ymsevimse.com 點擊:

            無油式真空泵的結構特點及安裝維護注意點      清潔的真空環境一直是科學家和企業界追求的理想真空環境.自能夠創造真空環境開始,人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果.時至今日,清潔真空獲得設備已經發展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產品。在現有的無油真空泵當中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點:     ①.無油,無摩擦——真空腔內無油,非接觸,無磨損,不產生微粒塵埃污染,可獲得清潔真空;    ②.抽氣量大——雙渦旋盤,結構與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍,節省能源;    ③.抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元,壓差??;大氣與真空之間由O型圈密封,泄漏低;    ④.非接觸,良好平衡,力矩影響小,噪音低,振動??;    ⑤.結構簡單緊湊,相同尺寸下,運動半徑小,運行平穩;   ⑥.體積小,維修方便,維護費用低;   ⑦.采用空氣冷卻,無需水冷。   無油渦旋真空泵應用在    ①.半導體行業——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備;    ②.科學儀器行業——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器;   ③.機械設備行業——材料制備設備、真空檢測、材料提純設備;   ④.化學工業;    ⑤.醫療設備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備;   ⑥.包裝行業——食品、藥品、生物制品等包裝設備。   無油渦旋真空泵主要由5個部件組成:   ①.動靜渦旋盤付與基座;   ②.曲軸;   ③.密封墊;   ④.防自轉機構;   ⑤.電機。    無油渦旋真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成的一個渦旋型盤狀結構體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交*組裝在一 起,兩者之間由防自轉機構保證180。相位差,這樣結合組成的一對渦旋盤付構成了無油渦旋真空泵的基本抽氣機構。靜渦旋盤與動渦旋盤彼此之間在幾條直線上接觸形成對稱的幾對月牙腔,動渦旋盤在曲軸的驅動下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運動,使靜渦旋盤與動渦旋盤的接觸點沿渦旋曲面 移動實現吸氣、壓縮與排氣。例如在雙級無油渦旋真空泵中,有兩個方向對應的靜渦旋盤,一個位于兩個渦旋盤之間的動渦旋盤。

        下面以普通旋片真空泵為例,說明其差別:     無油渦旋真空泵的主要優點主要包括:    ①.密封性良好,沒有向機械泵那樣直接連接吸、排氣腔的泄漏通道,容易密封,容易達到較高的真空度;    ②.回轉半徑小,動靜渦旋盤相對滑動速度僅為旋片真空泵的1/7左右,動靜渦旋盤之間的動密封相對容易,有利于延長泵的使用壽命;    ③壓縮進程必較緩慢,有2個或者3個壓縮過程同時進行,壓縮腔相對曲軸對稱,這樣泵的運轉過程平穩、驅動力矩和氣體沖擊波動小,使泵的噪音和振動降低。   總而言之,無油渦旋真空泵結構簡單、具有較高的壓縮比,在較寬的壓力范圍內有穩定的抽速,工作壓力范圍寬;動靜渦旋盤之間間隙小、泄漏少,由于壓縮腔容積的變化是連續的,因而驅動扭矩變化小,功率變化小,振動噪聲低,可*性高。這是其它類型的干式真空泵所不具備的。    由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動等問題給用戶造成不良影響,如生物制品行業與半導體行業的油蒸汽污染與工藝系統返油問題。真 空鍍膜設備的鍍膜工藝中,在20~40Pa真空條件下鍍膜時,如果應用普通旋片機械真空泵作為前級真空泵將對鍍膜工藝設備造成污染,影響成膜質量。半導體 晶片制造工藝當中使用油泵與使用于泵相比,成品率存在明顯的差距,并且排出的油霧蒸汽對環境也有污染.科學儀器行業尤其是在分析測試儀器行業,采用油泵對 測試結果將造成不良影響。大型同步輻射光束線上采用無油渦旋真空泵作為前級真空泵的作用也相當明顯。另外無油渦旋真空泵消除了普通油泵的漏油給用戶帶來的 環境污染與煩惱?,F有無油渦旋真空泵用戶的使用情況也證明了這種泵的優越性。  

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