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        無油式真空泵

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        無油式真空系統的構件結構

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        無油式真空系統的構件結構

        發布日期:2018-08-23 17:40 來源:http://www.ymsevimse.com 點擊:

        近年來,發現用機械真空泵和擴散泵抽氣的真空系統,由于它有微足的油蒸汽返流入被抽容器或器件中,使許多電子器件的性能和技術指標受到嚴重影響。例如,電子管的氧化物陰極,因油蒸汽而降低其發射性能和壽命,各種大功率高電壓電子管,因油蒸汽的存在而容易電擊穿;廣播電臺用的耐高壓真空電容,因泊蒸汽的存在而顯著降低其耐壓指標,油蒸汽在許多地方,產生顯著的不利影響。因此,用于這些方面的真空系統,要求改用無油真空系統來代替,即不使用用真空油密封和用真空油作工作液的抽氣工具(如機械泵、擴散泵),而采用靠對氣體分子吸附作用,降低容器內壓強的吸附泵和欽泵來獲得所需的真空。

        吸附泵是利用某些固體物質的多孔性表面,在冷狀態下對氣體的強烈吸附作用,而使封閉系統獲得10-2毫米水銀柱的低真空的,它是用作無油系統的前級。

        吸附泵所用的吸附物質,一般除可用活性碳外,大多使用分子篩(人造沸石)來吸附氣體,獲得真空。因為,當用液氮冷卻后,每一公斤的分子篩,能把50-100升的容器從大氣抽成10-2毫米水銀柱的真空,所以,它是一種吸氣泛很大的泵,而它在經過400℃左右的烘烤后,其所吸的氣體就又重新放出(叫做活化或再生),恢復再吸氣的能力。目前常用的5A分子篩(吸收容量大,適合排空氣,但需經?!盎罨?,,其平均孔徑約為5)13X分子篩(其吸附容且雖比5A分子篩小,但能吸收油蒸汽分子)。

         

         


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